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单晶炉什么东西

发布网友 发布时间:2022-04-20 09:44

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热心网友 时间:2023-09-18 18:42

单晶炉的构成

  提拉头:主要由安装盘 减速机 籽晶腔 划线环 电机 磁流体 籽晶称重头 软波纹管等其他部件组成    副室:主要是副室筒以及上下法兰组成    炉盖:副室连接法兰,翻板阀,观察窗 抽真空管道 组成    炉筒:包括取光孔    下炉筒:包括抽真空管道    底座机架:全铸铁机架和底座    坩埚下传动装置:主要由磁流体 电机 坩埚支撑轴 减速机 软波纹管 立柱 上下传动支撑架 导轨 等部件组成    分水器已经水路布置:包括分水器,进水水管,若干胶管 水管卡套等    氩气管道布置:质量流量计 3根以上的柔性管 不锈钢管 3个压力探测器 高密封性卡套 等部件    真空泵已经真空除尘装置:油压真空泵 水环真空泵 过滤器 真空管道 硬波纹管等    电源以及电控柜:电源柜 滤波柜 控制柜 以及连接线

编辑本段单晶炉的定义

  单晶炉是一种在惰性气体环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备。

参考资料:http://ke.baidu.com/view/4304072.htm

热心网友 时间:2023-09-18 18:42

单晶炉是一种在惰性气体环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备。

热心网友 时间:2023-09-18 18:43

单晶炉是一种在惰性气体(氮气、氦气为主)环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备。
单晶炉的构成:
1、提拉头:主要由安装盘、减速机、籽晶腔、划线环、电机、磁流体、籽晶称重头、软波纹管等其他部件组成
2、副室:主要是副室筒以及上下法兰组成
3、炉盖:副室连接法兰、翻板阀、观察窗、抽真空管道组成
4、炉筒:包括取光孔。
5、下炉筒:包括抽真空管道。
6、底座机架:全铸铁机架和底座。
7、坩埚下传动装置:主要由磁流体、电机、坩埚支撑轴、减速机、软波纹管、立柱、上下传动支撑架、导轨等部件组成。
8、分水器已经水路布置:包括分水器、进水水管、若干胶管、水管卡套等。
9、氩气管道布置:质量流量计、3根以上的柔性管、不锈钢管、3个压力探测器、高密封性卡套等部件。
10、真空泵以及真空除尘装置:油压真空泵、水环真空泵、过滤器、真空管道、硬波纹管等。
11、电源以及电控柜:电源柜、滤波柜、控制柜、以及连接线。
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